кварцевый песок и процессы очистки, метод Чохральского, и. Иллюстрированная блок-схема производства полупроводников. Включает несколько этапов: 1 Производство кремниевых пластин, начиная с кварцевого песка и включая очистку, метод Чохральского и резку. 2 Фронтальный этап изготовления пластин, с подробным описанием осаждения, фотолитографии, травления, ионной имплантации, CMP и металлизации.