Электростатический патрон для производства полупроводников, изолированный на белом фоне. Прецизионный электростатический патрон с вакуумными, высоковольтными, охлаждающими и сенсорными соединениями для удержания и контроля температуры полупроводниковых пластин во время плазменной и вакуумной обработки