Иммерсионная литография: вода заполняет зазор между последней линзой и пластиной для повышения четкости экспозиции 193 нм, линейна. Иммерсионная литография: линейная иконка, показывающая, как сканеры глубокого ультрафиолета позволяют формировать более мелкие элементы чипа, заполняя зазор под оптикой жидкостью. Параллельный свет с длиной волны 193 нм входит сверху, проходит через большую проекционную линзу и достигает конечного элемента, плоская грань которого соприкасается с ультрачистой водой