Проявление фоторезиста — лужица проявителя вымывает экспонированный резист, создавая трафарет и оставляя пластину неповрежденной. Проявление фоторезиста: линейная иконка этапа литографии, который превращает невидимый рисунок экспозиции в физический трафарет. Дозирующее сопло распыляет капли щелочного проявителя (обычно ТМАГ) на пластину, удерживаемую на вращающемся держателе. Жидкость образует лужицу по всей поверхности, и там, где свет попал на позитивный слой, он становится