Вакуумная камера для плазменного травления методом магнетронного распыления. На этом изображении представлен планарный катод источника магнетронного распыления на фланце камеры на фоне камеры с индуктивно связанной плазмой для атомно-слоевого травления, с роботизированным сборочным манипулятором завода с LED-подсветкой разработки Deep.