матрица кремниевых фотоумножителей плитка для чистой зоны УФ. На этом изображении представлена плитка матрицы кремниевых фотоумножителей на керамической дочерней плате на фоне камеры индуктивно связанной плазмы для атомно-слоистого травления, где основным элементом является свечение УФ-стерилизации.